能够检测零件表面清洁度仪器有很多，以下是常用的清洁度检测仪器：

粒子计数器：可以用于检测表面残留的颗粒物和微粒。

红外光谱仪：可以用于检测表面残留的有机物和无机物。

X射线荧光光谱仪：可以用于检测表面残留的金属物。

红外热成像仪：可以用于检测表面的温度分布，从而判断表面是否有残留物。

显微镜：可以用于检测表面的形貌和组成，观察表面是否有残留物。

表面张力测量仪：可以用于检测零件的表面张力值，表面张力值越低，表面越容易被污染物附着。从而可以判断表面是否干净。但会受到基材的粗糙度、材质表面能影响。

表面清洁度检测仪：德国析塔表面清洁度仪可以用于检测零件表面清洁度，采用共焦法原理，通过光源发射出最佳波长的UV光检测金属表面的污染物，内置的传感器精准探测污染物引起的荧光强度，该荧光强度的大小取决于基材表面有机物残留情况，从而能精准量化检测金属表面清洁度。

借助UV光源和传感器的共同作用，表面清洁度仪能快速量化清洁度测试结果，用于直接判断金属基膜表面干净程度是否达到合格范围，有效避免了人为判断造成的测量误差，从而防止某些质量缺陷问题的出现，如脱焊、虚焊等，保证成品质量达到要求。

需要根据具体的应用场景和检测要求选择合适的零件表面清洁度仪器，综合应用多种仪器可以提高检测的准确性和可靠性。此外，也可以结合人工目视检测等方法来进行综合评估。