在紫外线辐射下，通过电子放射或暴晒从双原子氧气可自然形成臭氧。工业上，用干燥的空气或氧气，采用5~25kv的交流电压进行无声放电制取。另外，在低温下电解稀硫酸，或将液体氧气加热都可制得臭氧。

臭氧是地球大气中一种微量气体，它是由于大气中氧分子受太阳辐射分解成氧原子后，氧原子又与周围的氧分子结合而形成的，含有3个氧原子。臭氧的半衰期仅为30-60min。由于它不稳定、易分解，无法作为一般的产品贮存，因此需在现场制造。

臭氧老化箱产生臭氧的主要方法有：电解法、核辐射法、紫外线、等离子等几种，即应用高能量交互式电流作用空气中的氧气使氧气分子电离而成臭氧。（注：通过高压电极把氧气转为臭氧的化学方程式是: 3O2==(高压)2O3）。

臭氧老化箱使用电解系统生产臭氧的主要优点是：
1、没有离子污染；
2、待消毒处理的水是用来产生臭氧的原料，因此没有来自系统外部的其他污染；
3、臭氧在处理过程中一生成就被溶解，即可以用较少的设备进行臭氧处理；
4、若在加压条件下，可生产出较高浓度的臭氧。

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