全自动台阶分析仪

全自动台阶分析仪JS3000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

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全自动台阶分析仪产品简介

全自动台阶分析仪JS3000B拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。全自动台阶分析仪JS3000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

全自动台阶分析仪JS3000B

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比

▲刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

▲薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

▲各式薄膜等应力测量

▲3D扫描成像

▲计划任务和多点扫描

▲批量测试晶圆，批量处理数据等

▲EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

▲JS300B

▲高度校准标样

▲FFU模块

▲静电消除模块

▲E84接口

技术参数	说明
台阶高度最大范围	≤80um
台阶高度重复性	≤0.5nm
垂直分辨率	0.05nm
探针加力范围	0.5mg~50mg
单次扫描长度	<55mm
晶圆尺寸	可兼容6寸、8寸Wafer
晶圆厚度	≤10mm
晶圆材质	硅、钽酸锂、玻璃等(不透明，半透明，透明)
图像识别系统精度	定位精度优于+10um
机械动作稳定性	马拉松传送测试>500片
生产效率	WPH≥10片(单面量测>=5个位置)
台阶高度最大范围	≤80um
标准探针	曲率半径>2um角度60°(标配)
亚微米探针	曲率半径≤1um角度60°(选配)
软件功能	数据处理:台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量; 应力测试和3D扫描成像数据通讯:SECS通讯接口