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ZEM20台式扫描电镜采用更加宽泛的加速电压，1KV步进，最高放大 36 万倍，分辨率可达5nm。样品台减速模式下，弱导电样品无需喷金也能实时观察。超大样品仓可集成多种原位拓展平台，满足不同实验及检测需求。

ZEM20台式扫描电镜

▲真空分隔技术：采用独特真空设计，电子枪和样品仓真空分离，换样时间小于1min。

▲ 超大样品仓：提供了更大的样品存储空间，方便用户操作。

▲ 超高分辨率：极限放大倍数达到36万倍，分辨率4nm@20kV。

▲ 标配减速模式：允许弱导电样品在不喷金的情况下进行观察。

▲ 仓内摄像头：样品仓内置高清摄像头，原位实验时可实时监测样品原位变化

环境要求	AC220V，50Hz，1kW，无需减震台
加速电压	3kV~20kV连续可调，1kV步进
电子枪	预对中钨灯丝，一体式聚光镜，无需手动调节物镜光阑，可选配LaB6灯丝
放大倍数	25~360000倍
分辨率	5nm
探测器	二次电子探测器、四分割背散射电子探测器、集成式能谱仪(选配)
样品台	三轴:X:60mm,Y:60mm，T:+45 五轴(选配):X:90mm,Y:50mm,Z:25mm,R:360°,T:-10-90°
超大样品舱	长185mm宽176mm高125mm
真空模式	高真空模式:换样时间30s;低真空模式(选配):1-60Pa自动控制
成像模式	视频模式：512x512像素，无需小窗口扫描快扫模式：512x512像素慢扫模式：2048x2048像素图像格式：BMP，TIFF，JIPEG，PNG
导航功能	光学相机导航，舱内摄像头，可实时观察样品舱内情况
自动功能	一键自动配置亮度、对比度、自动聚焦等
尺寸	主机:650x370x642(mm)
扩展功能	兼容多种原位功能样品台(TEC冷台、加热台、拉伸台等)

ZEM20台式扫描电镜